Patent Assignment
Reel/Frame 028029/0323
Assignment of Assignor's Interest
Recorded: 2012-04-11
Pages: 5
Assignors
VERMEER, ADRIANUS JOHANNES PETRUS MARIA
Executed: 2012-03-16
JANSSEN, GABI P.
Executed: 2012-03-22
Assignee
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
SCHOEMAKERSTRAAT 97, DELFT, 2628 VK, NETHERLANDS
Covered Property
(1)
Apparatus and Method for Atomic Layer Deposition