Patent Assignment
Reel/Frame 031358/0980
Assignment of Assignor's Interest
Recorded: 2013-10-07
Pages: 5
Assignors
VERMEER, ADRIANUS JOHANNES PETRUS MARIA
Executed: 2013-08-12
DE SWART, JOSEPH ADRIANUS MARIA
Executed: 2013-08-23
WIT, ROBERT COENRAAD
Executed: 2013-08-19
Assignee
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
SCHOEMAKERSTRAAT 97, 2628 VK, DELFT, NETHERLANDS
Covered Property
(1)
Apparatus for Atomic Layer Deposition