Patent Assignment
Reel/Frame 041458/0852
Assignment of Assignor's Interest
Recorded: 2017-03-03
Pages: 3
Assignors
POODT, PAULUS WILLIBRORDUS GEORGE
Executed: 2017-02-10
KNAAPEN, RAYMOND JACOBUS WILHELMUS
Executed: 2017-02-10
Assignee
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
ANNA VAN BUERENPLEIN 1, 'S-GRAVENHAGE, 2595 DA, NETHERLANDS
Covered Property
(1)
Method and Apparatus for Depositing Atomic Layers on a Substrate