Patent Assignment
Reel/Frame 055315/0031
Assignment of Assignor's Interest
Recorded: 2021-02-18
Pages: 4
Assignee
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
ANNA VAN BUERENPLEIN 1, 'S-GRAVENHAGE, 2595 DA, NETHERLANDS
Covered Property
(1)
Plasma Source and Method of Operating the Same